Tétrafluorure de silicium

Tétrafluorure de silicium
Structure du tétrafluorure de silicium
Identification
Synonymes

tétrafluorosilane

No CAS 7783-61-1
No ECHA 100.029.104
No CE 232-015-5
PubChem 24556
SMILES
InChI
Apparence gaz incolore, d'odeur acre[1].
Propriétés chimiques
Formule F4SiSiF4
Masse molaire[2] 104,079 1 ± 0,000 3 g/mol
F 73,02 %, Si 26,98 %,
Propriétés physiques
T° fusion −90 °C
T° ébullition −86 °C
Solubilité dans l'eau : réaction[1]
Masse volumique 1,66 g·mL-1 (−95 °C, solide)[3]
4,69 g·L-1 (0 °C, gaz)[3]
Point critique 37,2 bar, −14,15 °C[4]
Propriétés électroniques
1re énergie d'ionisation 15,24 ± 0,14 eV (gaz)[5]
Cristallographie
Symbole de Pearson [6]
Classe cristalline ou groupe d’espace I43m (n°217)[6]
Précautions
SGH[7]
SGH04 : Gaz sous pressionSGH05 : CorrosifSGH06 : Toxique
Danger
H280, H314, H330, EUH071, P260, P280, P303, P304, P305, P315, P338, P340, P351, P353, P361, P403 et P405
SIMDUT[8]
A : Gaz compriméD1A : Matière très toxique ayant des effets immédiats gravesE : Matière corrosive
A, D1A, E,
NFPA 704
Transport[7]
-

Unités du SI et CNTP, sauf indication contraire.

Le tétrafluorure de silicium, également appelé tétrafluorosilane, est un composé du silicium à géométrie tétraédrique et de formule SiF4, il s'agit donc d'un halogénure de silicium (à l'instar du tétrachlorure de silicium de formule SiCl4).

À température et pression ambiantes, ce composé se présente sous forme d'un gaz incolore. Sa plage d'existence à l'état liquide est singulièrement étroite : entre −90 °C et −86 °C.

Ce composé inorganique a été synthétisé pour la première fois en 1812 par le chimiste anglais John Davy[9],[3], frère du célèbre physicien et chimiste Sir Humphry Davy.

Production

Le traitement thermique de l’hexafluorosilicate de baryum (BaSiF6) à des températures supérieures à 300 °C permet de synthétiser le tétrafluorure de silicium à l'état gazeux ainsi que du fluorure de baryum (BaF2) en tant que résidu solide[3].

Utilisation

En microélectronique, le tétrafluorure de silicium est utilisé :

Références

  1. 1 2 TETRAFLUORURE DE SILICIUM, Fiches internationales de sécurité chimique
  2. ↑ Masse molaire calculée d’après « Atomic weights of the elements 2007 », sur www.chem.qmul.ac.uk.
  3. 1 2 3 4 5 Nicolas Batisse (Docteur en Chimie des Matériaux), « Fluoration pour la synthèse de matériaux à base de carbone pour le stockage de l’énergie » [[PDF]] (Thèse de doctorat de l'Université Blaise-Pascal), sur hal.archives-ouvertes.fr, Clermont-Ferrand (soutenance) / Lyon (publication), HAL, (HAL tel-00822122, consulté le ), p. 126.
  4. ↑ « Properties of Various Gases »(Archive.org • Wikiwix • Archive.is • Google • Que faire ?), sur flexwareinc.com (consulté le ).
  5. ↑ (en) David R. Lide, Handbook of chemistry and physics, CRC, , 89e éd., 2736 p. (ISBN 978-1-4200-6679-1), p. 10-205
  6. 1 2 « The SiF4 Structure », sur cst-www.nrl.navy.mil (consulté le ).
  7. 1 2 Erreur de référence : Balise <ref> incorrecte : aucun texte n’a été fourni pour les références nommées G
  8. ↑ « Tétrafluorure de silicium » dans la base de données de produits chimiques Reptox de la CSST (organisme québécois responsable de la sécurité et de la santé au travail), consulté le 25 avril 2009
  9. ↑ (en) John Davy, « An Account of Some Experiments on Different Combinations of Fluoric Acid » [« Récit de quelques expériences concernant différentes combinaisons de l'acide fluorhydrique »] (Compte-rendu de recherches en chimie inorganique), Philos. Trans. R. Soc., Londres, Royal Society, vol. 102,‎ , p. 352–369 (ISSN 0261-0523, e-ISSN 2053-9223, OCLC 1697286, DOI 10.1098/rstl.1812.0020, JSTOR 107324, lire en ligne [[PDF]], consulté le ).
  10. ↑ Tétrafluorosilane, SiF4, Propriétés physiques des gaz, sécurité, FDS, compatibilité avec les matériaux, équilibre gaz-liquide, enthalpie, masse volumique, viscosité, inflammabilité, propriétés de transport, air liquide, consulté le 7 septembre 2009
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